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光学轮廓仪

发(fa)布时(shi)间(jian):2018-12-11

型号:Contour GT-K
厂商:德国Bruker公司



设(she)备参数(shu):
    测量范围:PSI模式≤160nm
                        VSI模式≥160nm
    垂直测量范围:0.1nm 至 1mm
                              全量程闭环扫描
    垂直分辨率:<0.1nm Ra
    RMS重现性:0.01nm
    垂直扫描速度:达7.2μm/s以上
    横向分辨率:0.08 - 13.1μm
    视场范围:8.24mm - 0.05mm


主要(yao)用(yong)途:

      Bruker光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器,对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度;垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径,粗糙度的计测等。

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